步骤编号,事件名称,协议消息,补充说明,是否设备侧（Y/N）
1,Material Arrived (TransferBlock),E87_06,物料到达 Port,Y
2,CarrierID Readed,E87_03,CarrierID 读取，格式与长度限制,Y
3,Query CJ Space,S1F3/S1F4,Host 查询是否有空闲 CJ,N
4,Query PJ Space,S16F21/S16F22,Host 查询是否有空闲 PJ,N
5,Query PPID List,S7F19/S7F20,检查是否有 PPID 设置、路径、格式限制,N
6,ProceedWithCarrier,S3F17,允许搬入 Carrier,N
7,Check SlotMap,E87_14,检查 Slot 占位状态,Y
8,ProceedWithSlotMap,S3F17,传入 SlotMap、LotID、PanelID,N
9,SlotMap Verify OK,E87_15,SlotMap 验证通过,Y
10,Create PJ,S16F15,创建 Process Job，可能含自定义 PanelID,N
11,PJ Queued,E40_01,PJ 已排队,Y
12,Create CJ,S14F9/S14F10,创建 Control Job,N
13,CJ Start,E94_07,CJ 启动,Y
14,PJ Start,E40_04,PJ 开始,Y
15,OCR,OCR_PanelID_Read_OK,读取物料 ID,Y
16,Panel Start,E90_11,开始加工 Panel,Y
17,Panel End,E90_12,加工完成，异常需报 WaferEnd,Y
18,PJ End,E40_06,PJ 处理结束,Y
19,CJ End,E94_10,CJ 完结,Y
20,Ready to Release,E87_19,可释放 Carrier,Y
21,Carrier Release,S3F17,Host 下料动作,N
22,Ready to Unload,E87_09,可卸载,Y
23,Material Removed,E87_08,物料已取走,Y