CEID,事件名称,数据结构说明
3000,Lot 上报,"1:时间戳, 4:Port号, 5:Lot ID"
3401,Job 开始,"1:时间戳, 4:Port号, 15:Step"
3402,Job 完成阶段1,"1:时间戳, 4:Port号, 15:Step"
3403,Job 完成阶段2,"1:时间戳, 4:Port号, 15:Step"
3404,Job 完成阶段3,"1:时间戳, 4:Port号, 15:Step, 5:Lot ID"
3030,Slot Map,6:<U1数组> 表示占位状态
3140,Port Mapping,"50005:<A""LPx"">"
3102,Load 请求,无内容
3150,Unload 请求,无内容
3151,Unload 完成,无内容
3517,Carrier 移动中(1),50004:<U1>
3518,Carrier 移动中(2),50004:<U1>
3519,Carrier 移动完成,无内容
3522,Process Done?,无内容
4022/4023,报警/异常,"11:模块, 12:错误代码"
10004,报警上报,"11:错误ID, 18:模块或代码"