| | |
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| | | 701,PreviousProcessState,U1, |
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| | | 800,EFEMPPExecName,A20, |
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| | | 801,EQPPExecName,A20, |
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| | | 2000,RbRAxisTorque,I2,机器人R轴扭矩 |
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| | | 2001,RbLAxisTorque,l2,机器人L轴扭矩 |
|---|
| | | 2002,RbZAxisTorque,l2,机器人Z轴扭矩 |
|---|
| | | 2003,RbTHAxisTorque,l2,机器人TH轴扭矩 |
|---|
| | | 2004,RbXAxisTorque,l2,机器人X轴扭矩 |
|---|
| | | 2005,AxisX111,l2,X111相机前移栽电机扭矩 |
|---|
| | | 2006,AxisX112,l2,X112相机后移栽电机扭矩 |
|---|
| | | 2007,AxisU113,l2,U113产品旋转电机扭矩 |
|---|
| | | 2008,AxisX114,l2,X114产品左整列电机扭矩 |
|---|
| | | 2009,AxisY121,l2,Y121产品右整列电机扭矩 |
|---|
| | | 2010,AxisY122,l2,Y122产品前整列电机扭矩 |
|---|
| | | 2011,AxisY123,l2,Y123产品后阵列电机扭矩 |
|---|
| | | 2012,MainAir,U2,总进气压力值 |
|---|
| | | 2013,MainVacuum,l2,总真空压力值 |
|---|
| | | 2014,RbMainVacuum,l2,机器人真空值 |
|---|
| | | 2015,LPMainVacuum,l2,LP真空值#D265 |
|---|
| | | 2016,LPMainAir,U2,LP压空值 |
|---|
| | | 2017,ALVacuum,l2,Aligner真空值 |
|---|
| | | 2018,FFU1RPM,U2,FFU1转速 |
|---|
| | | 2019,FFU2RPM,U2,FFU2转速 |
|---|
| | | 2020,FFU3RPM,U2,FFU3转速 |
|---|
| | | 2021,FFU4RPM,U2,FFU4转速 |
|---|
| | | 2022,ESDValue,I2,静电检测值 |
|---|
| | | 2023,OCREnable,U2,"OCR使能：O:开启 1：屏蔽" |
|---|
| | | 2024,CCDEnable,U2,"CCD使能：O:开启 1：屏蔽" |
|---|
| | | 2025,FFUParameter,U2,FFU设定值 |
|---|
| | | 5000,CarrierID,A20,卡匣ID |
|---|
| | | 2000,RbRAxisTorque,I2,机器人R轴扭矩 |
|---|
| | | 2001,RbLAxisTorque,l2,机器人L轴扭矩 |
|---|
| | | 2002,RbZAxisTorque,l2,机器人Z轴扭矩 |
|---|
| | | 2003,RbTHAxisTorque,l2,机器人TH轴扭矩 |
|---|
| | | 2004,RbXAxisTorque,l2,机器人X轴扭矩 |
|---|
| | | 2005,AxisX111,l2,X111相机前移栽电机扭矩 |
|---|
| | | 2006,AxisX112,l2,X112相机后移栽电机扭矩 |
|---|
| | | 2007,AxisU113,l2,U113产品旋转电机扭矩 |
|---|
| | | 2008,AxisX114,l2,X114产品左整列电机扭矩 |
|---|
| | | 2009,AxisY121,l2,Y121产品右整列电机扭矩 |
|---|
| | | 2010,AxisY122,l2,Y122产品前整列电机扭矩 |
|---|
| | | 2011,AxisY123,l2,Y123产品后阵列电机扭矩 |
|---|
| | | 2012,MainAir,U2,总进气压力值 |
|---|
| | | 2013,MainVacuum,l2,总真空压力值 |
|---|
| | | 2014,RbMainVacuum,l2,机器人真空值 |
|---|
| | | 2015,LPMainVacuum,l2,LP真空值#D265 |
|---|
| | | 2016,LPMainAir,U2,LP压空值 |
|---|
| | | 2017,ALVacuum,l2,Aligner真空值 |
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| | | 2018,FFU1RPM,U2,FFU1转速 |
|---|
| | | 2019,FFU2RPM,U2,FFU2转速 |
|---|
| | | 2020,FFU3RPM,U2,FFU3转速 |
|---|
| | | 2021,FFU4RPM,U2,FFU4转速 |
|---|
| | | 2022,ESDValue,I2,静电检测值 |
|---|
| | | 2023,OCREnable,U2,"OCR使能：O:开启 1：屏蔽" |
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| | | 2024,CCDEnable,U2,"CCD使能：O:开启 1：屏蔽" |
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| | | 2025,FFUParameter,U2,FFU设定值 |
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| | | 5000,CarrierID,A20,卡匣ID |
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| | | 5001,CJobSpace,U1,CJ Space |
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| | | 5002,PJobSpace,U1,PJ Space |
|---|
| | | 5002,PJobSpace,U1,PJ Space |
|---|
| | | 5003,PJQueued,L,PJ Queued |
|---|
| | | 5004,PJStartID,A20,PJStartID |
|---|
| | | 5005,PJEndID,A20,PJEndID |
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| | | 5006,PanelStartID,A20,PanelStartID |
|---|
| | | 5007,PanelEndID,A20,PanelEndID |
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| | | 5008,CJStartID,A20,CJStartID |
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| | | 5009,CJEndID,A20,CJEndID |
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| | | 5010,UnloadReadyPortId,U2,"Port ID" |
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| | | 5011,LoadReadyPortId,U2,"Port ID" |
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| | | 5012,BlockedPortId,U2,"Port ID" |
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