| | |
|---|
| | | 1,A单元_急停_01 |
|---|
| | | 2,A单元_急停_02 |
|---|
| | | 3,A单元_急停_03 |
|---|
| | | 4,A单元_MEO |
|---|
| | | 1,1,A单元_急停_01 |
|---|
| | | 2,1,A单元_急停_02 |
|---|
| | | 3,1,A单元_急停_03 |
|---|
| | | 4,1,A单元_MEO |
|---|
| | | |
|---|
| | | 10,B单元_急停_01 |
|---|
| | | 11,B单元_急停_02 |
|---|
| | | 12,B单元_急停_03 |
|---|
| | | 13,B单元_MEO |
|---|
| | | 10,1,B单元_急停_01 |
|---|
| | | 11,1,B单元_急停_02 |
|---|
| | | 12,1,B单元_急停_03 |
|---|
| | | 13,1,B单元_MEO |
|---|
| | | |
|---|
| | | 201,A单元-上腔体压合Z轴1异常 |
|---|
| | | 202,A单元-上腔体压合Z轴2异常 |
|---|
| | | 203,A单元-上腔体压合Z轴3异常 |
|---|
| | | 204,A单元-上腔体压合Z轴4异常 |
|---|
| | | 205,A单元-上腔体压合Z轴5异常 |
|---|
| | | 206,A单元-上腔体Z轴1异常 |
|---|
| | | 207,A单元-上腔体Z轴2异常 |
|---|
| | | 208,A单元-分离胶辊Z轴1异常 |
|---|
| | | 209,A单元-分离胶辊Z轴2异常 |
|---|
| | | 210,A单元-左侧分离胶辊X轴1异常 |
|---|
| | | 211,A单元-左侧分离胶辊X轴2异常 |
|---|
| | | 212,A单元-分离胶辊调节Z轴异常 |
|---|
| | | 213,A单元-下腔体Z轴异常 |
|---|
| | | 214,A单元-收膜旋转轴异常 |
|---|
| | | 215,A单元-放膜旋转轴异常 |
|---|
| | | 201,2,A单元-上腔体压合Z轴1异常 |
|---|
| | | 202,2,A单元-上腔体压合Z轴2异常 |
|---|
| | | 203,2,A单元-上腔体压合Z轴3异常 |
|---|
| | | 204,2,A单元-上腔体压合Z轴4异常 |
|---|
| | | 205,2,A单元-上腔体压合Z轴5异常 |
|---|
| | | 206,2,A单元-上腔体Z轴1异常 |
|---|
| | | 207,2,A单元-上腔体Z轴2异常 |
|---|
| | | 208,2,A单元-分离胶辊Z轴1异常 |
|---|
| | | 209,2,A单元-分离胶辊Z轴2异常 |
|---|
| | | 210,2,A单元-左侧分离胶辊X轴1异常 |
|---|
| | | 211,2,A单元-左侧分离胶辊X轴2异常 |
|---|
| | | 212,2,A单元-分离胶辊调节Z轴异常 |
|---|
| | | 213,2,A单元-下腔体Z轴异常 |
|---|
| | | 214,2,A单元-收膜旋转轴异常 |
|---|
| | | 215,2,A单元-放膜旋转轴异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 217,B单元-上腔体压合Z轴1异常 |
|---|
| | | 218,B单元-上腔体压合Z轴2异常 |
|---|
| | | 219,B单元-上腔体压合Z轴3异常 |
|---|
| | | 220,B单元-上腔体压合Z轴4异常 |
|---|
| | | 221,B单元-上腔体压合Z轴5异常 |
|---|
| | | 222,B单元-上腔体Z轴1异常 |
|---|
| | | 223,B单元-上腔体Z轴2异常 |
|---|
| | | 224,B单元-分离胶辊Z轴1异常 |
|---|
| | | 225,B单元-分离胶辊Z轴2异常 |
|---|
| | | 226,B单元-左侧分离胶辊X轴1异常 |
|---|
| | | 227,B单元-左侧分离胶辊X轴2异常 |
|---|
| | | 228,B单元-分离胶辊调节Z轴异常 |
|---|
| | | 229,B单元-下腔体Z轴异常 |
|---|
| | | 230,B单元-收膜旋转轴异常 |
|---|
| | | 231,B单元-放膜旋转轴异常 |
|---|
| | | 217,2,B单元-上腔体压合Z轴1异常 |
|---|
| | | 218,2,B单元-上腔体压合Z轴2异常 |
|---|
| | | 219,2,B单元-上腔体压合Z轴3异常 |
|---|
| | | 220,2,B单元-上腔体压合Z轴4异常 |
|---|
| | | 221,2,B单元-上腔体压合Z轴5异常 |
|---|
| | | 222,2,B单元-上腔体Z轴1异常 |
|---|
| | | 223,2,B单元-上腔体Z轴2异常 |
|---|
| | | 224,2,B单元-分离胶辊Z轴1异常 |
|---|
| | | 225,2,B单元-分离胶辊Z轴2异常 |
|---|
| | | 226,2,B单元-左侧分离胶辊X轴1异常 |
|---|
| | | 227,2,B单元-左侧分离胶辊X轴2异常 |
|---|
| | | 228,2,B单元-分离胶辊调节Z轴异常 |
|---|
| | | 229,2,B单元-下腔体Z轴异常 |
|---|
| | | 230,2,B单元-收膜旋转轴异常 |
|---|
| | | 231,2,B单元-放膜旋转轴异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 260,QD77MS16(U60)异常 |
|---|
| | | 261,QD77MS16(U62)异常 |
|---|
| | | 260,2,QD77MS16(U60)异常 |
|---|
| | | 261,2,QD77MS16(U62)异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 501,A单元-分离膜收膜压紧气缸异常 |
|---|
| | | 502,A单元-分离膜放膜压紧气缸异常 |
|---|
| | | 503,A单元-粘膜上升气缸异常 |
|---|
| | | 504,A单元-粘膜下降气缸异常 |
|---|
| | | 505,A单元-高粘上压紧气缸异常 |
|---|
| | | 506,A单元-高粘下压紧气缸异常 |
|---|
| | | 507,A单元-干泵气阀异常 |
|---|
| | | 508,A单元-腔体干泵与分子泵组合气阀异常 |
|---|
| | | 509,A单元-腔体分子泵气阀异常 |
|---|
| | | 510,A单元-腔体总破真空气阀异常 |
|---|
| | | 501,3,A单元-分离膜收膜压紧气缸异常 |
|---|
| | | 502,3,A单元-分离膜放膜压紧气缸异常 |
|---|
| | | 503,3,A单元-粘膜上升气缸异常 |
|---|
| | | 504,3,A单元-粘膜下降气缸异常 |
|---|
| | | 505,3,A单元-高粘上压紧气缸异常 |
|---|
| | | 506,3,A单元-高粘下压紧气缸异常 |
|---|
| | | 507,3,A单元-干泵气阀异常 |
|---|
| | | 508,3,A单元-腔体干泵与分子泵组合气阀异常 |
|---|
| | | 509,3,A单元-腔体分子泵气阀异常 |
|---|
| | | 510,3,A单元-腔体总破真空气阀异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 520,B单元-分离膜收膜压紧气缸异常 |
|---|
| | | 521,B单元-分离膜放膜压紧气缸异常 |
|---|
| | | 522,B单元-粘膜上升气缸异常 |
|---|
| | | 523,B单元-粘膜下降气缸异常 |
|---|
| | | 524,B单元-高粘上压紧气缸异常 |
|---|
| | | 525,B单元-高粘下压紧气缸异常 |
|---|
| | | 526,B单元-干泵气阀异常 |
|---|
| | | 527,B单元-腔体干泵与分子泵组合气阀异常 |
|---|
| | | 528,B单元-腔体分子泵气阀异常 |
|---|
| | | 529,B单元-腔体总破真空气阀异常 |
|---|
| | | 520,3,B单元-分离膜收膜压紧气缸异常 |
|---|
| | | 521,3,B单元-分离膜放膜压紧气缸异常 |
|---|
| | | 522,3,B单元-粘膜上升气缸异常 |
|---|
| | | 523,3,B单元-粘膜下降气缸异常 |
|---|
| | | 524,3,B单元-高粘上压紧气缸异常 |
|---|
| | | 525,3,B单元-高粘下压紧气缸异常 |
|---|
| | | 526,3,B单元-干泵气阀异常 |
|---|
| | | 527,3,B单元-腔体干泵与分子泵组合气阀异常 |
|---|
| | | 528,3,B单元-腔体分子泵气阀异常 |
|---|
| | | 529,3,B单元-腔体总破真空气阀异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 541,A单元-上腔体破真空异常 |
|---|
| | | 542,A单元-下腔体破真空异常 |
|---|
| | | 543,A单元-腔体干泵破真空异常 |
|---|
| | | 544,A单元-腔体分离泵破真空异常 |
|---|
| | | 541,3,A单元-上腔体破真空异常 |
|---|
| | | 542,3,A单元-下腔体破真空异常 |
|---|
| | | 543,3,A单元-腔体干泵破真空异常 |
|---|
| | | 544,3,A单元-腔体分离泵破真空异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 556,B单元-上腔体破真空异常 |
|---|
| | | 557,B单元-下腔体破真空异常 |
|---|
| | | 558,B单元-腔体干泵破真空异常 |
|---|
| | | 559,B单元-腔体分离泵破真空异常 |
|---|
| | | 556,3,B单元-上腔体破真空异常 |
|---|
| | | 557,3,B单元-下腔体破真空异常 |
|---|
| | | 558,3,B单元-腔体干泵破真空异常 |
|---|
| | | 559,3,B单元-腔体分离泵破真空异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 571,A单元-上腔体吸真空异常 |
|---|
| | | 572,A单元-下腔体吸真空异常 |
|---|
| | | 573,A单元-腔体干泵吸真空异常 |
|---|
| | | 574,A单元-腔体分离泵吸真空异常 |
|---|
| | | 571,3,A单元-上腔体吸真空异常 |
|---|
| | | 572,3,A单元-下腔体吸真空异常 |
|---|
| | | 573,3,A单元-腔体干泵吸真空异常 |
|---|
| | | 574,3,A单元-腔体分离泵吸真空异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 586,B单元-上腔体吸真空异常 |
|---|
| | | 587,B单元-下腔体吸真空异常 |
|---|
| | | 588,B单元-腔体干泵吸真空异常 |
|---|
| | | 589,B单元-腔体分离泵吸真空异常 |
|---|
| | | 586,3,B单元-上腔体吸真空异常 |
|---|
| | | 587,3,B单元-下腔体吸真空异常 |
|---|
| | | 588,3,B单元-腔体干泵吸真空异常 |
|---|
| | | 589,3,B单元-腔体分离泵吸真空异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 601,A单元-下腔体在籍异常 |
|---|
| | | 601,3,A单元-下腔体在籍异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 610,B单元-下腔体在籍异常 |
|---|
| | | 610,3,B单元-下腔体在籍异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 621,A单元-离心膜断料 |
|---|
| | | 622,A单元-离心膜转动异常 |
|---|
| | | 621,3,A单元-离心膜断料 |
|---|
| | | 622,3,A单元-离心膜转动异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 626,B单元-离心膜断料 |
|---|
| | | 627,B单元-离心膜转动异常 |
|---|
| | | 626,3,B单元-离心膜断料 |
|---|
| | | 627,3,B单元-离心膜转动异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 631,A单元-上腔体压合Z轴1绝对位置丢失 |
|---|
| | | 632,A单元-上腔体压合Z轴2绝对位置丢失 |
|---|
| | | 633,A单元-上腔体压合Z轴3绝对位置丢失 |
|---|
| | | 634,A单元-上腔体压合Z轴4绝对位置丢失 |
|---|
| | | 635,A单元-上腔体压合Z轴5绝对位置丢失 |
|---|
| | | 636,A单元-上腔体Z轴1绝对位置丢失 |
|---|
| | | 637,A单元-上腔体Z轴2绝对位置丢失 |
|---|
| | | 631,3,A单元-上腔体压合Z轴1绝对位置丢失 |
|---|
| | | 632,3,A单元-上腔体压合Z轴2绝对位置丢失 |
|---|
| | | 633,3,A单元-上腔体压合Z轴3绝对位置丢失 |
|---|
| | | 634,3,A单元-上腔体压合Z轴4绝对位置丢失 |
|---|
| | | 635,3,A单元-上腔体压合Z轴5绝对位置丢失 |
|---|
| | | 636,3,A单元-上腔体Z轴1绝对位置丢失 |
|---|
| | | 637,3,A单元-上腔体Z轴2绝对位置丢失 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 641,B单元-上腔体压合Z轴1绝对位置丢失 |
|---|
| | | 642,B单元-上腔体压合Z轴2绝对位置丢失 |
|---|
| | | 643,B单元-上腔体压合Z轴3绝对位置丢失 |
|---|
| | | 644,B单元-上腔体压合Z轴4绝对位置丢失 |
|---|
| | | 645,B单元-上腔体压合Z轴5绝对位置丢失 |
|---|
| | | 646,B单元-上腔体Z轴1绝对位置丢失 |
|---|
| | | 647,B单元-上腔体Z轴2绝对位置丢失 |
|---|
| | | 641,3,B单元-上腔体压合Z轴1绝对位置丢失 |
|---|
| | | 642,3,B单元-上腔体压合Z轴2绝对位置丢失 |
|---|
| | | 643,3,B单元-上腔体压合Z轴3绝对位置丢失 |
|---|
| | | 644,3,B单元-上腔体压合Z轴4绝对位置丢失 |
|---|
| | | 645,3,B单元-上腔体压合Z轴5绝对位置丢失 |
|---|
| | | 646,3,B单元-上腔体Z轴1绝对位置丢失 |
|---|
| | | 647,3,B单元-上腔体Z轴2绝对位置丢失 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 651,A单元-安全门异常 |
|---|
| | | 651,3,A单元-安全门异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 653,B单元-安全门异常 |
|---|
| | | 653,3,B单元-安全门异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 656,A单元-设备正压异常 |
|---|
| | | 657,A单元-离子风正压异常 |
|---|
| | | 656,3,A单元-设备正压异常 |
|---|
| | | 657,3,A单元-离子风正压异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 661,B单元-设备正压异常 |
|---|
| | | 662,B单元-离子风正压异常 |
|---|
| | | 661,3,B单元-设备正压异常 |
|---|
| | | 662,3,B单元-离子风正压异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 666,A单元-上腔体压合Z轴同步异常 |
|---|
| | | 667,A单元-上腔体Z轴同步异常 |
|---|
| | | 668,A单元-分离胶辊Z轴同步异常 |
|---|
| | | 669,A单元-分离胶辊X轴同步异常 |
|---|
| | | 666,3,A单元-上腔体压合Z轴同步异常 |
|---|
| | | 667,3,A单元-上腔体Z轴同步异常 |
|---|
| | | 668,3,A单元-分离胶辊Z轴同步异常 |
|---|
| | | 669,3,A单元-分离胶辊X轴同步异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 671,B单元-上腔体压合Z轴同步异常 |
|---|
| | | 672,B单元-上腔体Z轴同步异常 |
|---|
| | | 673,B单元-分离胶辊Z轴同步异常 |
|---|
| | | 674,B单元-分离胶辊X轴同步异常 |
|---|
| | | 671,3,B单元-上腔体压合Z轴同步异常 |
|---|
| | | 672,3,B单元-上腔体Z轴同步异常 |
|---|
| | | 673,3,B单元-分离胶辊Z轴同步异常 |
|---|
| | | 674,3,B单元-分离胶辊X轴同步异常 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 676,A单元-干泵处于非远程模式 |
|---|
| | | 677,A单元-干泵DVP未运行 |
|---|
| | | 678,A单元-干泵MBP未运行 |
|---|
| | | 679,A单元-干泵异常 |
|---|
| | | 680,A单元-干泵面板急停触发 |
|---|
| | | 676,3,A单元-干泵处于非远程模式 |
|---|
| | | 677,3,A单元-干泵DVP未运行 |
|---|
| | | 678,3,A单元-干泵MBP未运行 |
|---|
| | | 679,3,A单元-干泵异常 |
|---|
| | | 680,3,A单元-干泵面板急停触发 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 683,B单元-干泵处于非远程模式 |
|---|
| | | 684,B单元-干泵DVP未运行 |
|---|
| | | 685,B单元-干泵MBP未运行 |
|---|
| | | 686,B单元-干泵异常 |
|---|
| | | 687,B单元-干泵面板急停触发 |
|---|
| | | 683,3,B单元-干泵处于非远程模式 |
|---|
| | | 684,3,B单元-干泵DVP未运行 |
|---|
| | | 685,3,B单元-干泵MBP未运行 |
|---|
| | | 686,3,B单元-干泵异常 |
|---|
| | | 687,3,B单元-干泵面板急停触发 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 690,A单元-上腔体压合Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 691,A单元-上腔体压合Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 692,A单元-上腔体压合Z轴3过载报警 |
|---|
| | | 693,A单元-上腔体压合Z轴4过载报警 |
|---|
| | | 694,A单元-上腔体压合Z轴5过载报警 |
|---|
| | | 695,A单元-上腔体Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 696,A单元-上腔体Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 697,A单元-分离胶辊Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 698,A单元-分离胶辊Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 699,A单元-分离胶辊X轴1过载报警 |
|---|
| | | 700,A单元-分离胶辊X轴2过载报警 |
|---|
| | | 690,3,A单元-上腔体压合Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 691,3,A单元-上腔体压合Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 692,3,A单元-上腔体压合Z轴3过载报警 |
|---|
| | | 693,3,A单元-上腔体压合Z轴4过载报警 |
|---|
| | | 694,3,A单元-上腔体压合Z轴5过载报警 |
|---|
| | | 695,3,A单元-上腔体Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 696,3,A单元-上腔体Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 697,3,A单元-分离胶辊Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 698,3,A单元-分离胶辊Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 699,3,A单元-分离胶辊X轴1过载报警 |
|---|
| | | 700,3,A单元-分离胶辊X轴2过载报警 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 701,B单元-上腔体压合Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 702,B单元-上腔体压合Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 703,B单元-上腔体压合Z轴3过载报警 |
|---|
| | | 704,B单元-上腔体压合Z轴4过载报警 |
|---|
| | | 705,B单元-上腔体压合Z轴5过载报警 |
|---|
| | | 706,B单元-上腔体Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 707,B单元-上腔体Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 708,B单元-分离胶辊Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 709,B单元-分离胶辊Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 710,B单元-分离胶辊X轴1过载报警 |
|---|
| | | 711,B单元-分离胶辊X轴2过载报警 |
|---|
| | | 701,3,B单元-上腔体压合Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 702,3,B单元-上腔体压合Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 703,3,B单元-上腔体压合Z轴3过载报警 |
|---|
| | | 704,3,B单元-上腔体压合Z轴4过载报警 |
|---|
| | | 705,3,B单元-上腔体压合Z轴5过载报警 |
|---|
| | | 706,3,B单元-上腔体Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 707,3,B单元-上腔体Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 708,3,B单元-分离胶辊Z轴1过载报警 |
|---|
| | | 709,3,B单元-分离胶辊Z轴2过载报警 |
|---|
| | | 710,3,B单元-分离胶辊X轴1过载报警 |
|---|
| | | 711,3,B单元-分离胶辊X轴2过载报警 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 712,A单元-上腔体压合Z轴5轴间误差过大 |
|---|
| | | 713,A单元-上腔体Z轴2轴间误差过大 |
|---|
| | | 714,A单元-上腔体Z轴与上腔压合Z轴误差过大 |
|---|
| | | 712,3,A单元-上腔体压合Z轴5轴间误差过大 |
|---|
| | | 713,3,A单元-上腔体Z轴2轴间误差过大 |
|---|
| | | 714,3,A单元-上腔体Z轴与上腔压合Z轴误差过大 |
|---|
| | | |
|---|
| | | 717,B单元-上腔体压合Z轴5轴间误差过大 |
|---|
| | | 718,B单元-上腔体Z轴2轴间误差过大 |
|---|
| | | 719,B单元-上腔体Z轴与上腔压合Z轴误差过大 |
|---|
| | | 717,3,B单元-上腔体压合Z轴5轴间误差过大 |
|---|
| | | 718,3,B单元-上腔体Z轴2轴间误差过大 |
|---|
| | | 719,3,B单元-上腔体Z轴与上腔压合Z轴误差过大 |
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| | | 722,A单元-分子泵处于非远程模式 |
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| | | 723,A单元-分子泵异常 |
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| | | 724,B单元-分子泵处于非远程模式 |
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| | | 725,B单元-分子泵异常 |
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| | | 726,A单元-干泵抽真空异常 |
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| | | 727,B单元-干泵抽真空异常 |
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| | | 722,3,A单元-分子泵处于非远程模式 |
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| | | 723,3,A单元-分子泵异常 |
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| | | 724,3,B单元-分子泵处于非远程模式 |
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| | | 725,3,B单元-分子泵异常 |
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| | | 726,3,A单元-干泵抽真空异常 |
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| | | 727,3,B单元-干泵抽真空异常 |
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| | | 729,A单元-上腔体加热主控仪表异常 |
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| | | 730,A单元-上腔体加热腔体温度异常 |
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| | | 729,3,A单元-上腔体加热主控仪表异常 |
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| | | 730,3,A单元-上腔体加热腔体温度异常 |
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| | | 732,A单元-下腔体加热主控仪表异常 |
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| | | 733,A单元-下腔体加热腔体温度异常 |
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| | | 732,3,A单元-下腔体加热主控仪表异常 |
|---|
| | | 733,3,A单元-下腔体加热腔体温度异常 |
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| | | 739,B单元-上腔体加热主控仪表异常 |
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| | | 740,B单元-上腔体加热腔体温度异常 |
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| | | 739,3,B单元-上腔体加热主控仪表异常 |
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| | | 740,3,B单元-上腔体加热腔体温度异常 |
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| | | 742,B单元-下腔体加热主控仪表异常 |
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| | | 743,B单元-下腔体加热腔体温度异常 |
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| | | 742,3,B单元-下腔体加热主控仪表异常 |
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| | | 743,3,B单元-下腔体加热腔体温度异常 |
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| | | 801,上游连接中断 |
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| | | 802,下游连接中断 |
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| | | 801,3,上游连接中断 |
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| | | 802,3,下游连接中断 |
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| | | 806,上游交握超时 |
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| | | 807,下游交握超时 |
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| | | 806,3,上游交握超时 |
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| | | 807,3,下游交握超时 |
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| | | 811,A单元-离子风异常 |
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| | | 811,3,A单元-离子风异常 |
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| | | 814,B单元-离子风异常 |
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| | | 814,3,B单元-离子风异常 |
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| | | 9000,0,PauseEvent触发 |
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