SourceCode/Bond/Servo/Common.h @@ -51,6 +51,10 @@ #define EQ_ID_EFEM 1 #define EQ_ID_Bonder1 2 #define EQ_ID_Bonder2 3 #define EQ_ID_LOADPORT1 4 #define EQ_ID_LOADPORT2 5 #define EQ_ID_LOADPORT3 6 #define EQ_ID_LOADPORT4 7 /* step name */
